隔膜真空泵廣泛應用于真空包裝、脫氣、干燥、浸漬等設備上，如被抽氣體是空氣時，配置了排氣過濾器及進氣逆止閥的隔膜真空泵是非常適用的。然而一但被抽氣體中含有蒸汽即可凝性氣體時，真空泵的使用環境就變得相當惡劣了。有人誤認為真空泵是一個抽氣泵，只要吸進去了，就能排出，其實并非如此。如不能有效地抽除蒸汽把蒸汽排出泵腔，則蒸汽將凝結在泵腔內。這將導致真空泵潤滑油發生乳化變質嚴重影響真空泵所能達到的極限壓力，潤滑性能下降，磨損加劇，不能正常工作，甚至將造成泵體及轉子等零部件發生嚴重銹蝕，造成整機報廢。只有安裝了氣鎮閥的真空泵才能抽除純的蒸汽。真空泵抽除蒸汽的能力可用大水蒸汽允許壓力表示。增大氣鎮量，提高工作溫度，降低排氣壓力，能有效地提高抽除蒸汽的能力。